4BTHOToubpk yrd.huanqiu.comarticleMEMSRIGHT/e3pu6i31u<article><section data-type="rtext"><p>第十三届中国国际纳米技术产业博览会展位号：T29</p><p>苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司微纳制造分公司成立于2013年1月，是一家专注于微纳机电制造（MEMS）专业研发与代工的平台企业。公司可提供6英寸 MEMS工艺设计与加工服务、6-8英寸 MEMS封装测试服务以及特色单步工艺加工服务：主要包括SOI工艺、电镀工艺、硅外延工艺、特殊薄膜工艺等。6英寸超净间主要场地为1850平方米（十级与百级洁净等级），另有公共超净出租场地3400平方米。</p></section></article>1674889821333环球网版权作品，未经书面授权，严禁转载或镜像，违者将被追究法律责任。责编：岳芳青环球网167488982133311[]//rs1.huanqiucdn.cn/dp/api/files/imageDir/9e9d3d07679a768ceebabf61e453c2aau1.png