4BTHeCdPOA1 yrd.huanqiu.comarticle西北工业大学宁波研究院/e3pu6i31u<article><section data-type="rtext"><p>第十三届中国国际纳米技术产业博览会展位号：761</p><p>智能传感芯片中心依托西北工业大学微机电系统及纳米技术双一流学科、极端环境智能微系统国家重点实验室（培育）宁波基地、空天微纳系统教育部重点实验室宁波基地等优势平台，建有国际先进、国内一流的8英寸硅基MEMS核心工艺加工服务平台（部分设备兼容6英寸/4英寸/2英寸），其中包括世界顶级SPTS深硅刻蚀机、SUSS MA/BA8 光刻机、SUSS XB8 键合机、全自动涂胶显影机、ALD薄膜沉积设备、蒸镀设备（金/银/铝等金属、SiO2/Al2O3等介质）、激光隐切设备（硅/玻璃/SOI）、CMP等专业MEMS工艺设备，提供MEMS芯片结构设计、镀膜、光刻、刻蚀、划片、封测、应用开发等全方位技术服务。</p></section></article>1674890246344环球网版权作品，未经书面授权，严禁转载或镜像，违者将被追究法律责任。责编：岳芳青环球网167489024634411[]//rs1.huanqiucdn.cn/dp/api/files/imageDir/4abc055ee9311816bedbbbf87f7fb506u1.png